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产品详情
Product details
产品说明
真空等离子处理仪属于电子工业的干法清洗，在一定的真空条件下，对气体施加能量使其成为等离子状态，等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等，通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。通过使用等离子体处理样品表面从而实现表面清洁，表面改性，表面刻蚀，表面接枝的目的，最后将污染物转化为气态，并通过真空泵用连续气流将其排出。
产品特性
原装强效电源：采用原装高压激励电源电路技术，产生高密度等离子体，确保出众的清洗效果。
全面安全防护：温度安全防护功能，过载防护功能，短路断路报警防护功能，各种误操作保护功能。
独有的放电技术：特殊处理及特殊结构的放电装置，确保形成稳定均匀的等离子体。
密封性优良的真空腔体设计：高真空度真空腔体设计及制造工艺，配置强力真空泵。
优质的产品部件：产品全部部件采用国内外优质部件，确保设备性能优越。
超低清洗温度：满足不同场合温度要求，不对清洗产品造成温度影响。
精密数控加工：进口精美CNC数控机床加工工艺，并配备进口三坐标测量仪进行质量监控。
适用于形状复杂样品：清洗各种复杂形状的产品，包括内孔内壁，均匀清洗。
定制设计 ：可定制40Khz、13.56Mhz、2.45Ghz三种频率，电极数量可定制，腔体尺寸可定制。
产品参数
| 产品型号 | SN-ZK05D-40 | 腔体容量 | 5L |
| 腔体尺寸(mm) | Φ150*D260 | 频率 | 40kHz |
| 功率 | 200W | 主机尺寸(mm) | W415*D600*H450 |
| 电极层数 | 1层 | 流量计 | 2通道浮子流量计 |
| 操作面板 | 触摸7寸 | 流量范围 | 50-500sccm |
应用领域
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航天研究所
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生命科学
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高校实验室
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医疗研究
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