真空等离子处理仪在一定的真空条件下，对气体施加能量使其成为等离子状态，等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等，通过利用这些活性组分的性质高效清洗微观和纳米级别的表面污垢和有机物。通过使用等离子体处理样品表面从而实现表面清洁，表面改性，表面刻蚀，表面接枝的目的，最后将污染物转化为气态，并通过真空泵用连续气流将其排出。

原装强效电源：采用原装高压激励电源电路技术，产生高密度等离子体，确保出众的清洗效果。

全面安全防护：温度安全防护功能，过载防护功能，短路断路报警防护功能，各种误操作保护功能。

独有的放电技术：特殊处理及特殊结构的放电装置，确保形成稳定均匀的等离子体。

密封性优良的真空腔体设计：高真空度真空腔体设计及制造工艺，配置强力真空泵。

优质的产品部件：产品全部部件采用国内外优质部件，确保设备性能优越。

超低清洗温度：满足不同场合温度要求，不对清洗产品造成温度影响。

精密数控加工：进口精美CNC数控机床加工工艺，并配备进口三坐标测量仪进行质量监控。

适用于形状复杂样品：清洗各种复杂形状的产品，包括内孔内壁，均匀清洗。

定制设计 ：可定制40Khz、13.56Mhz、2.45Ghz三种频率，电极数量可定制，腔体尺寸可定制。

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